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輪廓度測量儀

  • 名稱:輪廓度測量儀
  • 型號:YST200X
  • 品牌:雅視特
  • 編號:

>>>技術(shù)描述>>>

1. 測量范圍

a. X方向驅(qū)動器:140mm;

b. Z1(輪廓度量程):45mm;

c. Z1(分辨率):0.1微米;

d. Z軸高度(立柱):650mm;

e. 可檢測內(nèi)孔:20mm可選用小針針對小孔檢測;

2. 輪廓參數(shù)

a. 線性精度:±(1.0+|0.12H|)μm;

b. 圓弧:±(1.2+R/12)μm;

c. 角度:±1′;

d. 直線度:0.6μm/100mm;

3. 傳感器

a. 芯片類型:美國;

b. 分辨率:0.1μm;

c. 產(chǎn)地:英國雷尼邵;

d. 爬坡角度:上升77度,下降88度;

e. 測量速度:0.05-20mm/s;

f. Z軸速度:0.05-20mm/s。

 


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